1）完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關系極大。

2）對環(huán)境無污染，不需進行三廢處理。

3）爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內。

4）機電一體化程度高。在溫度測控精度提高的基礎上，工件移動、氣壓調節(jié)、功率調節(jié)等均可預先編程設定，按步驟實施淬火和回火。

5）能耗顯著低于鹽浴爐。現(xiàn)代先進的真空爐加熱室采用優(yōu)質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內，節(jié)能效果顯著。