所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。

在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運(yùn)行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。

小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動(dòng))明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時(shí)間就長一些，粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經(jīng)驗(yàn)表明，對(duì)于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率數(shù)值增加一個(gè)9)，風(fēng)速增加一倍，透過率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率降低一個(gè)9)。