無塵室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室：

⑴天花板系統(tǒng)包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。

⑵空調(diào)系統(tǒng)包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。

⑶隔墻板（Partitional wall)包括窗戶、門。

⑷地板包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構(gòu)造一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：

A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；

B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；

C.吸濕性??；

D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高.